Zeitschrift für Physikalische Chemie und Biophysik
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Abstrakt

Korrelation zwischen Oxidationsmittelkonzentration und morphologischen Eigenschaften von Silizium-Nanodrähten, die durch silberunterstütztes stromloses Ätzen gewonnen wurden

Besma Moumni* und Abdelkader Ben Jaballah

In dieser Arbeit wird eine Korrelation zwischen der Oxidationsmittelkonzentration und den morphologischen Veränderungen von Silizium-Nanodrähten hergestellt, die durch ein zweistufiges, silberunterstütztes, stromloses Ätzverfahren gebildet wurden. Sie zeigt, dass bei Proben, die bei einer H2O2-Konzentration von relativ weniger als 2 % geätzt wurden, eine strukturierte Siliziumoberfläche erscheint. Allerdings werden die Dynamik und Kinetik von Silizium-Nanodrähten bei verschiedenen H2O2-Konzentrationen (5 %, 7 % und 8 %) mithilfe von Rasterelektronenmikroskopie untersucht. Wir haben festgestellt, dass die Dicke der geätzten Silizium-Nanodrähte als Funktion der Zeit einer linearen Gesetzmäßigkeit folgt. Die Länge von Silizium-Nanodrähten ist nicht nur von der H2O2-Konzentration abhängig, sondern es ist auch eine kritische Längensättigung erforderlich, um die Längensättigung zu überwinden. Wir beweisen auch, dass die Oxidationsrate von Silizium-seitigen Ag-Partikeln die Dynamik der Drahtbildung aufgrund der Entstehung von Siliziumhexafluorid-Ionen (SiF6)2- begrenzen kann.